International Technology Roadmap for Semiconductors

International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) adalah seperangkat dokumen yang dikoordinasikan dan diselenggarakan oleh Semiconductor Research Corporation dan dihasilkan oleh sekelompok ahli di industri semikonduktor. Para ahli ini merupakan perwakilan dari organisasi sponsor, termasuk Asosiasi Industri Semikonduktor Taiwan, Korea Selatan, Amerika Serikat, Eropa, Jepang, dan Tiongkok.

Mulai tahun 2017, ITRS tidak lagi diperbarui. Penerusnya adalah International Roadmap for Devices and Systems.

Dokumen tersebut memuat penafian: "ITRS dirancang dan dimaksudkan untuk penilaian teknologi saja dan tanpa memperhatikan pertimbangan komersial apa pun yang berkaitan dengan produk atau peralatan individual".

Dokumen-dokumen tersebut mewakili pendapat terbaik mengenai arah penelitian dan jangka waktu hingga sekitar 15 tahun ke depan untuk bidang teknologi berikut:

• Driver/desain sistem
• Peralatan uji & uji
• Proses ujung depan
• Integrasi proses, perangkat dan struktur
• Frekuensi radio dan teknologi analog/sinyal campuran
• Sistem mikroelektromekanis (MEMS)
• Fotolitografi
• interkoneksi IC
• Integrasi pabrik
• Perakitan & pengemasan
• Lingkungan, keselamatan & kesehatan
• Peningkatan hasil
• Metrologi
• Pemodelan & simulasi
• Perangkat penelitian yang sedang berkembang
• Bahan penelitian yang muncul

• Fabrikasi semikonduktor
• Fotolitografi
• Litografi ultraviolet ekstrim
• Litografi rendam
• ASML Holding pemasok sistem fotolitografi terbesar, terutama untuk industri semikonduktor.
• SEMI — The semiconductor industry trade association
• Sirkuit terpadu
• MOSFET
• Transistor
• Semikonduktor
• Nanometer

• Bennett, Herbert S. (January–February 2007). "Will Future Measurement Needs of the Semiconductor Industry be Met?" (PDF). Journal of Research of the National Institute of Standards and Technology. 112 (1): 25–38. doi:10.6028/jres.112.002. PMC 4654602 . PMID 27110452. Diarsipkan dari versi asli (PDF) tanggal 2011-10-17.  Parameter |url-status= yang tidak diketahui akan diabaikan (bantuan)
• Esmaeilzadeh, H.; Blem, E.; Amant, R.S.; Sankaralingam, K.; Burger, D. (2011). "Dark silicon and the end of multicore scaling" (PDF). 2011 38th Annual International Symposium on Computer Architecture (ISCA). hlm. 365–376. CiteSeerX 10.1.1.210.8363 . ISBN 9781450304726. 
• Official itrs2 website
• Mirror of the original website at Archive.org
• Yearly ITRS reports